CDG025D电容薄膜真空计属于INFICON薄膜规系列。测量精度可达:0.2%(读数精度)、自带温度补偿功能,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。自带一键归零功能和设定点调整功能。选用防腐蚀陶瓷传感器可应用于腐蚀性真空环境。在腐蚀性环境中也能保持良好的零点稳定性;预计寿命可达到数百万个加压循环,包括突发大气压。传感器屏蔽可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可有效过滤电磁干扰,保持长期的稳定测量。
技术特点:
·从100mTorr至1000Torr满量程可选
·电源接通后快速稳定
·暴露于大气压后快速恢复
·可选防腐蚀陶瓷传感器
·优秀的电磁屏蔽技术保持信号的长期温度
·具有温度补偿功能
·传感器有防污染保护功能
·一键调零功能
典型应用:
·用于蚀刻、CVD、PVD和ALD的半导体制造设备
·数据存储和显示器制造设备
·工业真空设备
·高度精确的压力测量控制
杭州域势科技有限公司,专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案,公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌,结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案,旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
CDG025D真空计
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